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小型二次電子検出器 MINI-SED
小型二次電子検出器MINI-SEDはシンチレータタイプの検出器で、二次電子（電子等が試料に照射されて発生する低いエネルギーの電子：数十eV程度）を検出・増幅して電気信号として出力します。主に走査型電子顕微鏡の検出器として使用されます。
特殊仕様等のご相談にも対応いたします。
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試料：Cu 400 mesh (L＆S：32μｍ) |
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製品の特徴
小型
コンパクトな設計のため、省スペース化を実現できます。取付けフランジはICF70です。
超高真空対応
最大150℃のベーキングが可能で真空度1×10-2 Paから使用できます。
pA〜μAの電流検出
最大2×106の信号増幅が可能で、pAからμAまでの電流検出が可能です。
信号出力は1 Vp-p、応答速度は最高5 MHzです。
特殊仕様の例
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主な仕様
シンチレータ型 |
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シンチレータ |
P47 |
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光電子増倍管 |
R9880U / 浜松ホトニクス社製 |
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ライトガイド |
石英ガラス |
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プリアンプ |
電流-電圧変換インピーダンス：20 kΩ |
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二次電子 |
1 pA〜1 μA |
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応答速度 |
5 MHz |
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2×106 |
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出力電圧 |
0〜1 Vp-p |
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プリアンプ電源電圧 |
DC ±8 V / 30 mA |
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光電子増倍管電圧 |
0〜-1 kV / 300 μA |
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シンチレータ電圧 |
0〜+8 kV / 10 μA |
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真空度 |
1×10-2 Pa |
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最大ベーキング温度 |
150℃以下（プリアンプ部分は除く） |
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ICF70フランジ |
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寸法図 (寸法等の変更についてはご相談ください。) |
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*電源は含まれておりません。別途ご用意ください。
推奨電源
二次電子検出器の電源も販売しております。
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