1987

会社設立



1988

電子プローブマイクロアナライザ用走査型電子顕微鏡の開発



1992

研究開発用電子線装置の開発


静電型高分解能走査型電子顕微鏡の開発


二次元原器製造用電子線描画装置の開発



1993

高性能ウェハ・マスク破断装置の開発


イオンポンプバックアップ電源の開発


MINI-EOC用電源"VME BUS MINI-EOC Driver"の開発



1995

超高真空対応電子線鏡筒"MINI-EOC"の販売開始


粒子線鏡筒の開発





1996

観測ロケット搭載用電子銃の開発


可変整形型電子線描画装置用仕切弁の開発





1997

イオンスパッタ・プラズマコーターの開発



1998

電子銃用テスター電源の開発



1999

汎用型走査型電子顕微鏡の開発


LaB6電子源用80 kV超高安定電源の開発


MINI-EOC要素技術の開発



2000

小型二次電子検出器"MINI-SED"の販売開始


次世代低加速電子線描画装置の開発


描画装置用高エミッタンス電界放出電子銃の開発




2001

高性能ウェハ・マスク破断装置"AMCシリーズ"の販売開始





2003

表面解析用拡大EOCの開発


超高安定MINI-EOC電源ユニットの開発


特性X線検出器の開発


走査型電子顕微鏡用収差補正検出器の開発



2004

超小型電子線源"MINI-GUN"の開発


ZrO/W輝度測定装置の開発


潜像観察走査型電子顕微鏡の開発





2005

冷陰極型電界放出電子銃テスト装置の開発



2006

冷陰極型電界放出電子源評価用
超高分解能走査型電子顕微鏡の開発





2008

顕微メスバウア分光装置の開発





2009

モバイル電子顕微鏡の開発





2010

ナノイメージング装置の開発





2011

回転バイプリズムホルダの開発


三次元光応答観測用電子線回折装置の開発




2012

分割ABF検出システムの開発



2013

E×B-EOCの開発



2015

球面グリッドを装着した噴水二次電子検出器の開発




2016

イオン分布ナノイメージングシステムの開発




2018

CoDELMAの開発




2020

超高分解能細胞機能イメージング・制御システムの開発