電子線鏡筒とその周辺機器開発の

小型電子線鏡筒MINI-EOCは、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、低加速SEM・計測/表面解析用電子線源として使用できます。

特殊仕様等のご相談にも対応いたします。

MINI-EOC	低加速電圧のSEM写真 試料：Cu400mesh（L＆S：32 μｍ）

MINI-EOCは、大電流密度や低加速を要求される計測や、LEED(低速電子回折法)、AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散型X線分光法)、EELS(電子エネルギー損失分光法)などの解析に応用可能です。他にも、超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)と組み合わせるなど使用範囲は多岐にわたります。特殊用途の鏡筒開発やコンサルティングも行っています。
*鏡筒のドライブには電源が必要です。
*SEM用検出器として二次電子検出器も販売しております。

製品の特徴

組込み型の電子線鏡筒

ICF114フランジに設置可能です。

超高真空対応

150℃までのベーキングが可能です。

低加速観察が可能

加速電圧：数十V〜5 kVまで使用可能なため、試料の極表面が観測可能です。

大電流密度の電子線

最大10 nAの照射電流が検出可能です。

静電型電極

レンズ、偏向電極に静電型を採用している為、磁場を嫌う試料も観察可能です。

電子銃仕切弁を内蔵

電子銃仕切弁を内蔵しているため、試料室を大気解放しても電子銃室の真空を維持できます。

電子顕微鏡として使用する場合の構成

その他の例

小型電子線鏡筒を用いた描画	無蒸着生物の電子顕微鏡観察

その他のアプリケーション例
◆STM（scanning tunneling microscope)4端子プローブ(Four-point Probes)の観測用として使用
◆モット型スピン検出器の線源として使用
◆電子線後方散乱回折法(Electron Backscatter Diffraction)の線源として使用

主な仕様

主な構成